同軸流量測(cè)量

AWM5000 系列微橋氣體質(zhì)量流量傳感器采用文丘里管型流量外殼。該系列可測(cè)量速度高達(dá) 20升/每分(SLPM) 且最大壓降為 2.25' H2O 的氣流。微橋芯片直接與氣流接觸，大大減少了由于通氣孔或旁路堵塞引起的誤差。

堅(jiān)固、通用的封裝
堅(jiān)固的塑料封裝被設(shè)計(jì)為能承受最高 50 psi 的共模壓力，且小型傳感元件能承受 100 g 的沖擊，而不會(huì)影響性能。隨附的“AMP”兼容連接器可提供超可靠的連接，適用于要求嚴(yán)苛的應(yīng)用。

內(nèi)置信號(hào)調(diào)節(jié)
每個(gè) AWM5000 傳感器都包括可執(zhí)行放大、線性化、溫度補(bǔ)償和氣體標(biāo)定功能的電路系統(tǒng)。無(wú)論流量范圍 (5、10、15 或 20 SLPM) 或校準(zhǔn)氣體（氮?dú)狻⒍趸肌⒁谎趸驓鍤猓┤绾危挟a(chǎn)品都可能達(dá)到 1 至 5 Vdc 的線性輸出。主動(dòng)激光可進(jìn)行所有校準(zhǔn)。

• 補(bǔ)償溫度范圍

• 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F]

• 流量/壓力范圍

• 0 SLPM 到 5.0 SLPM

• 0 SLPM 到 10.0 SLPM

• 0 SLPM 到 15.0 SLPM

• 0 SLPM 到 20.0 SLPM

• 響應(yīng)時(shí)間

• 最大 60 ms

• 電源電壓

• 最小 8.0 Vdc，典型值 10.0 Vdc，最大 15.0 Vdc

• UNSPSC 代碼

• 41111931

• 沖擊

• 峰值為 100 g，半正弦為 6 ms（3 次下降，每次沿著 3 軸方向）

• 輸出溫漂

• ±7% 讀數(shù)

• ±10% 讀數(shù)

• 零位

• 最小 0.95 Vdc，典型值 1 Vdc，最大 1.05 Vdc

• 端口類型

• 1/4 英寸 - 18 NPT

• 信號(hào)調(diào)節(jié)

•  放大

• 可重復(fù)性

• ±0.50% 讀數(shù)

• UNSPSC 商品

• 41111931 流量傳感器

• 調(diào)整點(diǎn)的輸出電壓

• 20 SLPM 時(shí)為 5.0 Vdc

• 5 SLPM 時(shí)為 5.0 Vdc

• 15 SLPM 時(shí)為 5.0 Vdc

• 10 SLPM 時(shí)為 5.0 Vdc

• 存儲(chǔ)溫度

• -20°C 至 70°C [-4°F 至 158°F]

• 介質(zhì)兼容性

• 僅干燥氣體

• 重量

• 60 g

• 系列名稱

• AWM5000

• 功耗

• 最大 100 mW

• 工作溫度

• -20°C 至 70°C [-4°F 至 158°F]

• 整個(gè)溫度范圍內(nèi)的零位

• 典型值 ±0.050 Vdc，最大 ±0.20 Vdc

• 共模壓力

• 50 psi

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