微橋氣體質量流量傳感器的工作原理是熱傳遞。氣體質量流量經引導流過傳感元件的表面。輸出電壓與流過封裝進出口的空氣或其他氣體質量成正比。特殊設計的外殼精確地引導和控制氣流流過微結構傳感元件。封裝的機械設計能夠輕松將其安裝在印刷電路板上。

微橋氣體質量流量傳感器內含一塊獨特的基于先進微結構技術的硅芯片。該芯片采用薄膜和絕熱橋結構，內含加熱器和溫度傳感元件。橋結構能夠快速靈敏地響應流過芯片的空氣或其他氣體氣流。中心加熱元件兩側的雙傳感元件還能指示氣流流過的方向和速率。激光修正的厚膜和薄膜電阻保證了從每個傳感器之間始終具有一致的可互換性。

微橋氣體質量流量傳感器利用包裹在氮化硅薄膜中的熱電阻。這些電阻呈懸浮狀態，在硅片的刻蝕腔上方形成兩座橋。芯片置于精確規格的氣流通道，提供可重復的流量響應。通過在流量傳感橋下刻蝕空腔，發熱器和傳感電阻能實現高效的熱隔離。微橋式氣體質量流量傳感器的小尺寸和熱隔離功能實現對氣流的極速響應及高靈敏度。

惠斯通雙橋控制氣流測量——一個提供閉環發熱器控制，另一個包含雙感應元件。加熱器電路通過提供與質量流量成正比的輸出，最大程度地降低環境溫度變化導致的輸出變化。此電路可維持加熱器的溫度以高于環境溫度 (160 °C) 恒定溫差，而環境溫度則由芯片上的熱電阻測量得知。傳感器的輸出與電源電壓成比例，也與惠斯通電橋電路的差分電壓相對應。

注意

最大程度地降低某些應用中可能產生的灰塵污染的影響。經過設計，氣流中可能存在的塵粒將平行于芯片表面流過芯片。另外，微結構芯片產生的熱遷移效應能移走橋結構上的微米級塵粒。

可使用簡單的過濾網，防止粉塵附著在芯片邊緣和通道表面。在大多數應用中，只要在氣流裝置的上游側串聯一只一次性的五微米過濾網，即可獲得充分的過濾效果。

注意：產品損傷

AWM 系列微橋式氣體質量流量傳感器不適用于測量液體流量，液體流過傳感器時會損壞傳感器。

• 補償溫度范圍

• -25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]

• 流量/壓力范圍

• ±25 sccm

• ±1000 sccm (1 SLPM)

• 響應時間

• 典型值 1 ms，最大 3 ms

• 電源電壓

• 最小 8.0 Vdc，典型值 10.0 Vdc，最大 15.0 Vdc

• UNSPSC 代碼

• 41111931

• 沖擊

• 100 g 峰值 (5 drops, 6 axes)

• 輸出溫漂

• ±6% 讀數

• ±2.5% 讀數

• 零位

• 0.0 mV dc ±1.5 mV dc

• 0.0 mV dc ±1.0 mV dc

• 端口類型

• 閥組

• 信號調節

• 非放大式 (mV)

• 可重復性

• ±0.35% 讀數

• ±0.50% 讀數

• UNSPSC 商品

• 41111931 流量傳感器

• 調整點的輸出電壓

• 1000 sccm (1 SLPM) 時為 54.7 mV dc ±3.7 mV dc

• 25 sccm 時為 8.5 mV dc ±1.5 mV dc

• 存儲溫度

• -40°C 至 125°C [-40°F 至 251°F]

• 介質兼容性

• 僅干燥氣體

• 氫氣

• 重量

• 14 g

• 11 g

• 系列名稱

• AWM40000

• 工作溫度

• -40°C 至 125°C [-40°F 至 251°F]

• 功耗

• 最大 75 mW

• 最大值 60 mW

• 整個溫度范圍內的零位

• ±0.20 mV dc

• 共模壓力

• 150 psi

• 25 psi

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